PACVD是等離子體輔助化學(xué)氣相沉積的縮寫，有時也寫作PECVD，E代表增強(qiáng)的意思。在PVD過程中，涂層材料是從固體形式蒸發(fā)得到；而在PACVD過程中，涂層是從氣體形式得到，氣體，如HMDSO（六甲基二甲硅醚）在等離子體作用下，大約200 oC時發(fā)生裂解，非反應(yīng)氣體，如氬氣，可以使離子沉積到工件表面并形成很薄的涂層，類金剛石（DLC）涂層就是PACVD技術(shù)制備的很好的例子，通常應(yīng)用于摩擦學(xué)和汽車行業(yè)。
等離子體輔助化學(xué)氣相沉積 (PACVD) 用于沉積 DLC 涂層， 通過等離子體激發(fā)和電離，激活工藝中的化學(xué)反應(yīng)，借助此工藝，我們可以在約 200 °C 的低溫下使用脈沖輝光或高頻放電進(jìn)行沉積，用 PACVD 生成的類金剛石涂層具有摩擦系數(shù)低和可擴(kuò)展的表面硬度特性。
