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功能涂層設備應用

Equipment application
超厚金屬涂層

超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層,連續沉積多元合金涂層厚度可達120um以上,實現單靶三維旋轉≥6.5um/h,連續沉積氮化物涂層25um以上,實現單靶三維旋轉≥3um/h,提高了工件表面的硬度,為航空發動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。

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