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鍍膜線解決方案

Solution
濾光鏡方案
客戶群體

干涉光學應用領域及相關配套生產廠商、PVD鍍膜加工企業

項目方案

為企業提供PVD鍍膜設備和鍍膜工藝技術

針對干涉光學應用領域行業產品的特點和不斷增長的客戶需求,不斷開發出多種設備技術和鍍膜工藝

Solutions and advantages.

解決方案及優勢

很多現代檢測方法以及大多數電信工業都 建立在光學技術基礎上。這些應用中,光學濾鏡需要將特定的波長從光束中過濾掉(陷波濾光片), 只允許指定位置的光譜帶通過(帶通濾光片)或者將特定波長光的反射轉換成透射(截止濾光片)。具有高低不同折射率的薄膜介電層依次疊加制作而成的干涉光學膜組被用作光學濾鏡。

匯成真空針對光學精密濾鏡開發的磁控濺射生產線,其設計用于在平面基材上制備光學濾鏡。作為精密濾鏡,其吸收光譜剖面須具備典型深溝槽和低散射率的特性并能夠重復產出。從技術角度講,這意味著:50、100或者更多層的薄膜將被制備并疊加到一起并且每層的膜厚都要被精確控制,最終沉積到基片上的整體膜組厚度非均勻性小于+/- 1 %。工藝過程中應排除光學相關雜質,而且設備應當具備工藝配方全自動處理以及高產出能力。

recommended equipment.

推薦設備

Project site.

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鍍膜現場

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